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半導體氣體分配系統的必備:恒歌VCR過濾墊片!

作者:燒結過濾器專家 發布時間:2025-02-14 11:33:13人氣: 來源:金屬燒結過濾器廠家

在半導體制造過程中,氣體分配系統的潔凈度和密封性是確保生產順利進行的關鍵因素。微小的顆粒污染或泄漏都可能導致生產中斷,甚至影響芯片的質量和性能。因此,選擇高質量的VCR過濾墊片成為確保半導體生產順利進行的關鍵。恒歌科技作為專業的金屬燒結過濾器生產廠家,為您帶來專為半導體氣體分配系統設計的316L不銹鋼VCR過濾墊片,為您的設備提供全方位的保護。


一、為什么選擇恒歌VCR過濾墊片?

(一)卓越的材料性能

恒歌VCR過濾墊片采用316L不銹鋼材質,這種超低碳的不銹鋼具有優異的耐腐蝕性、耐高溫性和機械強度。316L不銹鋼的低碳含量減少了碳化物析出的風險,進一步提高了材料的耐腐蝕性和焊接性能,使其在半導體制造環境中表現出色,能夠承受極端的工作條件。

(二)高潔凈度和密封性能

恒歌VCR過濾墊片采用先進的燒結工藝,確保孔隙結構均勻且穩定。這種高精度燒結工藝能夠實現微米級甚至亞微米級的精準過濾,有效攔截氣體中的微小顆粒雜質。通過嚴格控制燒結溫度和時間,恒歌生產的VCR過濾墊片具有高負載能力和良好的再生能力,即使在高流量和高壓力的條件下也能保持穩定的過濾性能。

(三)定制化解決方案

恒歌科技深知不同半導體制造工藝對VCR過濾墊片的特定要求,因此提供定制化解決方案。無論是圓形、橢圓形還是其他特殊形狀的墊片,恒歌都能根據客戶的具體需求進行設計和制造。此外,恒歌還提供不同孔徑范圍的燒結濾芯,從0.1μm到120μm,以滿足不同氣體分配系統對過濾精度的要求。

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二、恒歌MF系列儀器保護專用過濾器

恒歌MF系列儀器保護專用過濾器專為半導體氣體分配系統設計,采用全金屬材質,兼容1/4"、3/8"及1/2" VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是質量流量控制器(MFC)、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃的環境下,能有效阻隔微粒侵襲,守護敏感氣體組件,延長設備壽命,預防因微粒污染導致的泄漏風險。

(一)產品特點

整體316L不銹鋼結構:耐高溫、耐高壓、耐腐蝕,確保在惡劣環境下的長期穩定運行。

表面密封設計:無需額外的切割或焊接管道,安裝便捷,節省時間和成本。

(二)多種型號可選:

高壓型:適用于高壓系統管路,最大正向壓差可達2.9 MPa(1/2")和10.4 MPa(1/4"),流量范圍為0-300 slpm。

低壓型:適用于低壓系統管路,最大使用壓力為0.98 MPa,流量范圍為0-100 slpm。

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三、在半導體行業的應用優勢

(一)保護精密設備

恒歌VCR過濾墊片能夠有效阻隔微粒侵襲,保護質量流量控制器(MFC)、精密閥門和穩壓設備等關鍵組件。在高達400℃的環境下,恒歌的VCR過濾墊片仍能保持穩定的過濾性能,延長設備壽命,預防因微粒污染導致的泄漏風險。

(二)兼容性強

恒歌VCR過濾墊片與1/4"、3/8"和1/2" VCR標準墊片接口無縫兼容,適用于多種半導體氣體分配系統。這種兼容性使得VCR過濾墊片能夠輕松集成到現有的氣體分配系統中,無需額外的切割或焊接工作。

(三)經濟高效

恒歌的316L不銹鋼VCR過濾墊片不僅性能卓越,而且具有較高的性價比。其耐高溫、耐高壓和耐腐蝕的特性使其能夠在惡劣的工作環境中長期穩定運行,減少了更換頻率和維護成本。此外,恒歌提供的定制化服務能夠根據客戶的實際需求優化墊片設計,進一步提高系統的整體效率。


恒歌科技致力于為半導體行業提供高質量的316L不銹鋼VCR過濾墊片,確保氣體分配系統的潔凈度和密封性。通過先進的制造技術和嚴格的質量控制,恒歌的VCR過濾墊片能夠滿足半導體制造過程中對高純度氣體分配的嚴格要求。選擇恒歌科技,就是選擇一份可靠、高效和經濟的解決方案。


在半導體行業的競爭中,設備的可靠性和生產的穩定性是企業成功的關鍵。恒歌的316L不銹鋼VCR過濾墊片憑借其卓越的潔凈度控制和密封性能,成為半導體氣體分配系統的首選。無論您是正在尋找高性能的過濾解決方案,還是需要升級現有的氣體分配系統,恒歌科技都能為您提供滿意的答案。

了解更多產品信息,請訪問恒歌科技官網!


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客戶評價

  • 來自福建某大型科技公司反饋
  • 我是定制一批316不銹鋼燒結濾芯,定制要求是:316材質,1微米過濾精度,長505毫米,外徑60毫米,內徑52毫米;恒歌畢竟是個二十年的不銹鋼燒結濾芯生產廠家,精度符合要求,交貨快,技術服務配合很好!
  • 來自廣州某醫藥設備廠家反饋
  • 恒歌科技HENGKO生成的微孔燒結不銹鋼過濾器工藝很好,過濾器微孔分布均勻,過濾效果很好,值得長期合作!
  • 來自東莞厚街某過濾機械廠家的反饋
  • 采購了幾次恒歌不銹鋼濾芯,定制的1um高精度微孔燒結片和316不銹鋼粉末燒結板,質量杠杠滴,推薦合作!
  • 來自東莞長安某電子廠的反饋
  • 我們公司多次定制恒歌不銹鋼濾筒過濾管,按照要求設計定制非常標準,品質不錯,可以信任!
  • 來自廣東佛山某金屬絲網廠的評價
  • 我定制采購的是不銹鋼曝氣頭,NPT1/4內螺紋,D20*H254 1.5微米;恒歌生產的316不銹鋼曝氣頭品質一流!
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